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真空回流炉
发布时间 : 2025-04-26 14:31
ATV公司于1972年成立于德国慕尼黑,业务专注于真空热处理工艺设备,主要应用在混合电路、半导体和表面贴装领域。;理想的焊接系统,带快速退火功能的焊接回流炉(SRO),是一个多用途“冷壁”工艺焊炉。SRO是R&D,工艺研发,由低至高产能生产的理想选择。全自动生产能力可有多种方式实现:与粘片机在线集成、与粘片机系统集成、盒对盒晶片传送或带机器人系统的衬底传送. 应用领域主要应用领域为无缺陷焊接和无助焊剂焊接、IGBT封装、焊膏工艺、管壳盖板封装、MEMS及真空封装。
技术参数
–尺寸: 960x720x1340(长、宽、高)
–工作高度: 950 – 1050mm 可调
–重量: 240kg
–加热区域尺寸: 313x240mm
–加热原理: 红外辐射
–加热方式: 上、下双层红外灯管阵列排放, 石英管套在灯管外层起到保护作用
–加热区域: 分6个区域由各自的PID控制
–腔体门手动开关;自动上锁解锁
–闭环式冷却水循环系统
–功率: 19kW
–电源: 3 x 400VAC 50/60Hz; 32A
–加热板上方空间高度: 100mm
–*高温450°C
–均温性: 加热板面积的85%区域内 (加热板边缘往里15mm), 均温性< +/-2-3%
–氦漏率 < 5,0 x 10-9mbar x l/s
–直径25mm前端可视窗
可选项
–真空
•<5 x 10-2mbar, 机械干泵
•<5 x 10-6mbar, 机械干泵/分子泵
–气体分析
•残余气体分析
•O2 监测
•湿气 (水) 监测