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  • 真空回流炉

  • 德国ATV 公司一直致力于真空、热处理设备的生产开发。其真空回流炉焊接系统,通过红外灯管加热,在冷壁式腔体中实现快速升温回流和硬钎焊的工艺。SRO-706Getter型真空回流炉,工作区域尺寸300mmX240mm。此款回流炉可以对MEMS器件在高真空下做充分的烘烤除气,减少器件内部吸附的气体.对MEMS器件内部的吸气剂进行高温激活,使得吸气剂能在器件工作寿命期间持续吸收器件内部释放出的以及从大气微漏至器件内的气体;对MEMS器件的管壳和盖板实现高气密性的封焊,焊接面上无空洞。
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真空回流炉

发布时间 : 2025-04-26 14:31

ATV公司于1972年成立于德国慕尼黑,业务专注于真空热处理工艺设备,主要应用在混合电路、半导体和表面贴装领域。;理想的焊接系统,带快速退火功能的焊接回流炉(SRO),是一个多用途“冷壁”工艺焊炉。SRO是R&D,工艺研发,由低至高产能生产的理想选择。全自动生产能力可有多种方式实现:与粘片机在线集成、与粘片机系统集成、盒对盒晶片传送或带机器人系统的衬底传送. 应用领域主要应用领域为无缺陷焊接和无助焊剂焊接、IGBT封装、焊膏工艺、管壳盖板封装、MEMS及真空封装。

技术参数
尺寸: 960x720x1340(长、宽、高)
工作高度: 950 – 1050mm 可调
重量: 240kg\
加热区域尺寸: 313x240mm
加热原理: 红外辐射
加热方式: 上、下双层红外灯管阵列排放, 石英管套在灯管外层起到保护作用
加热区域: 分6个区域由各自的PID控制
腔体门手动开关;自动上锁解锁
闭环式冷却水循环系统
功率: 19kW
电源: 3 x 400VAC 50/60Hz; 32A
加热板上方空间高度: 100mm
*高温450°C
均温性: 加热板面积的85%区域内 (加热板边缘往里15mm), 均温性< +/-2-3% 
氦漏率 < 5,0 x 10-9mbar x l/s
直径25mm前端可视窗
可选项
真空
•<5 x 10-2mbar, 机械干泵
•<5 x 10-6mbar, 机械干泵/分子泵
气体分析
•残余气体分析
•O2 监测
•湿气 (水) 监测

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